
Это когда максимум растворимости легирующего компонента в твердом растворе а -(точка т) наблюдается выше эвтектической температуры t-s- При этом максимально возможные концентрации донорных легирующих примесей в твердом растворе на основе германия достигают примерно 2-Ю20 см-3, а в твердом растворе на основе кремния 2-Ю21 см-3, т. е. до 0,4-и 3,0% (ат.) соответственно, С понижением температуры растворимость легирующих компонентов в твердом растворе, как правило, резко уменьшается. Вследствие этого рбласти однородности твердых растворов на диаграммах состояния полупроводник — легирующий компонент столь узки, что исключается использование линейной шкалы для нанесения состава сплава. В настоящее время .для этой цели обычно применяют логарифмическую шкалу. Следует отметить, что на рис..32 для большей наглядности диаграмма состояния в области твердого рас-
твора а изображена в масштабе, в сотни раз большем, чем остальная часть диаграммы.
Согласно диаграмме состояния на рис. 32, растворимость компонента В в а-твердом растворе меняется с изменением температуры по кривой ambd. В сплаве концентрации С в интервале температур t—12 твердый раствор а не насыщен по отношению к компоненту В (за исключением температур t и t% когда он насыщен). При понижении температуры до t2 твердый раствор а становится насыщенным, а при температурах ниже t2 — пересыщенным по отношению, к компоненту В.
Так как процессы диффузии в твердой среде при относительно низких температурах протекают сравнительно медленно, то для сплавов концентраций компонента В, отвечающих точкам dub (см. рис. 32) при соответствующей скорости охлаждения (достаточной для подавления диффузионных процессов, т. е. при закалке) удается зафиксировать при комнатной температуре пересыщенный а-твердый- раствор. Однако сохранить в пересыщенном твердом растворе можно только примеси с незначительным коэффициентом диффузии при комнатной температуре. Если подвижность примеси при комнатной температуре достаточно велика (литий и медь в кремнии), то происходит распад пересыщенного а-твердого раствора — естественное старение, которое может привести к существенному изменению всех .физико-химических и электрофизических свойств полупроводниковых сплавов.
